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半導(dǎo)體論文范文第1篇

關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體物理實驗;教學(xué)改革;專業(yè)實驗

實驗教學(xué)作為高校教學(xué)環(huán)節(jié)中的一個重要組成部分，不僅因為其是課堂教學(xué)的延伸，更由于通過實驗教學(xué)，可以加深學(xué)生對理論知識的理解，培養(yǎng)學(xué)生的動手能力，拓展學(xué)生的創(chuàng)造思維［1，2］。實驗教學(xué)分為基礎(chǔ)實驗和專業(yè)實驗兩部分［3，4］:基礎(chǔ)實驗面向全校學(xué)生，如大學(xué)物理實驗、普通化學(xué)實驗等，其主要任務(wù)是鞏固學(xué)生對所學(xué)基礎(chǔ)知識和規(guī)律的理解，旨在提高學(xué)生的觀察、分析及解決問題的能力，提供知識儲備［5，6］;與基礎(chǔ)實驗不同，專業(yè)實驗僅面向某一專業(yè)，是針對專業(yè)理論課程的具體學(xué)習(xí)要求設(shè)計的實驗教學(xué)內(nèi)容，對于學(xué)生專業(yè)方向能力的提高具有極強(qiáng)的促進(jìn)作用［7～8］。通過專業(yè)實驗教學(xué)使學(xué)生能夠更好的理解、掌握和應(yīng)用基礎(chǔ)知識和專業(yè)知識，提高分析問題的能力并解決生活中涉及專業(yè)的實際問題，為學(xué)生開展專業(yè)創(chuàng)新實踐活動打下堅實的基礎(chǔ)［9～11］。

1半導(dǎo)體物理實驗課程存在的問題與困難

半導(dǎo)體物理實驗是物理學(xué)專業(yè)電子材料與器件工程方向必修的一門專業(yè)實驗課，旨在培養(yǎng)學(xué)生對半導(dǎo)體材料和器件的制備及測試方法的實踐操作能力，其教學(xué)效果直接影響著后續(xù)研究生階段的學(xué)習(xí)和畢業(yè)工作實踐。通過對前幾年本專業(yè)畢業(yè)生的就業(yè)情況分析，發(fā)現(xiàn)該專業(yè)畢業(yè)生缺乏對領(lǐng)域內(nèi)前沿技術(shù)的理解和掌握。由于沒有經(jīng)過相關(guān)知識的實驗訓(xùn)練，不少畢業(yè)生就業(yè)后再學(xué)習(xí)過程較長，融入企事業(yè)單位較慢，因此提升空間受到限制。1．1教學(xué)內(nèi)容簡單陳舊。目前，國內(nèi)高校在半導(dǎo)體物理實驗課程教學(xué)內(nèi)容的設(shè)置上大同小異，基礎(chǔ)性實驗居多，對于新能源、新型電子器件等領(lǐng)域的相關(guān)實驗內(nèi)容完全沒有或涉及較少。某些高校還利用虛擬實驗來進(jìn)行實驗教學(xué)，其實驗效果遠(yuǎn)不如學(xué)生實際動手操作。我校的半導(dǎo)體物理實驗原有教學(xué)內(nèi)容主要參照上個世紀(jì)七、八十年代國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)人才培養(yǎng)的要求所設(shè)置，受技術(shù)、條件所限，主要以傳統(tǒng)半導(dǎo)體物理的基礎(chǔ)類實驗為主，實驗內(nèi)容陳舊。但是在實驗內(nèi)容中添加新能源、新型電子器件等領(lǐng)域的技術(shù)方法，對于增加學(xué)生對所學(xué)領(lǐng)域內(nèi)最新前沿技術(shù)的了解，掌握現(xiàn)代技術(shù)中半導(dǎo)體材料特性相關(guān)的實驗手段和測試技術(shù)是極為重要的。1．2儀器設(shè)備嚴(yán)重匱乏。半導(dǎo)體物理實驗的教學(xué)目標(biāo)是使學(xué)生熟練掌握半導(dǎo)體材料和器件的制備、基本物理參數(shù)以及物理性質(zhì)的測試原理和表征方法，為半導(dǎo)體材料與器件的開發(fā)設(shè)計與研制奠定基礎(chǔ)。隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，專業(yè)實驗的教學(xué)內(nèi)容應(yīng)隨著專業(yè)知識的更新及行業(yè)的發(fā)展及時調(diào)整，從而能更好的完成課程教學(xué)目標(biāo)的要求，培養(yǎng)新時代的人才。實驗內(nèi)容的調(diào)整和更新需要有新型的實驗儀器設(shè)備做保障，但我校原有實驗教學(xué)儀器設(shè)備絕大部分生產(chǎn)于上個世紀(jì)六七十年代，在長期實驗教學(xué)過程中，不少儀器因無法修復(fù)的故障而處于待報廢狀態(tài)。由于儀器設(shè)備不能及時更新，致使個別實驗內(nèi)容無法正常進(jìn)行，可運行的儀器設(shè)備也因為年代久遠(yuǎn)，實驗誤差大、重復(fù)性低，有時甚至?xí)玫藉e誤的實驗結(jié)果，只能作學(xué)生“按部就班”的基礎(chǔ)實驗，難以進(jìn)行實驗內(nèi)容的調(diào)整，將新技術(shù)新方法應(yīng)用于教學(xué)中。因此，在改革之前半導(dǎo)體物理實驗的實驗設(shè)計以基礎(chǔ)類實驗為主，設(shè)計性、應(yīng)用性、綜合性等提高類實驗較少，且無法開展創(chuàng)新類實驗。缺少自主設(shè)計、創(chuàng)新、協(xié)作等實踐能力的訓(xùn)練，不僅極大地降低學(xué)生對專業(yè)實驗的興趣，且不利于學(xué)生實踐和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)能力的培養(yǎng)，半導(dǎo)體物理實驗課程的改革勢在必行。

2半導(dǎo)體物理實驗課程改革的內(nèi)容與舉措

半導(dǎo)體物理實驗開設(shè)時間為本科大四秋季學(xué)期，該實驗課與專業(yè)理論課半導(dǎo)體物理學(xué)、半導(dǎo)體器件、薄膜物理學(xué)在同一學(xué)期進(jìn)行。隨著半導(dǎo)體技術(shù)日新月異發(fā)展的今天，對半導(dǎo)體物理實驗的教學(xué)內(nèi)容也提出了新的要求，因此，要求這門實驗課程不僅能夠通過對半導(dǎo)體材料某些重要參數(shù)和特性的觀測，使學(xué)生掌握半導(dǎo)體材料和器件的制備及基本物理參數(shù)與物理性質(zhì)的測試方法，而且可以在鋪墊必備基礎(chǔ)和實際操作技能的同時，拓展學(xué)生在電子材料與器件工程領(lǐng)域的科學(xué)前沿知識，為將來獨立開展產(chǎn)品的研制和科學(xué)研究打下堅實的基礎(chǔ)。2．1實驗基礎(chǔ)設(shè)施的建設(shè)。2013年年底，基于我校本科教學(xué)項目的資金支持，半導(dǎo)體物理實驗教學(xué)團(tuán)隊通過調(diào)研國內(nèi)外高?，F(xiàn)行半導(dǎo)體物理實驗教學(xué)資料，結(jié)合我校實驗教學(xué)的自身特點，按照創(chuàng)新教育的要求重新設(shè)計了半導(dǎo)體物理實驗內(nèi)容，并根據(jù)所開設(shè)實驗教學(xué)內(nèi)容合理配置相應(yīng)的實驗儀器設(shè)備，新配置儀器設(shè)備具有一定的前瞻性，品質(zhì)優(yōu)良，數(shù)量合理，保證實驗教學(xué)質(zhì)量。由于作為一門專業(yè)實驗課，每學(xué)年只有一個學(xué)期承擔(dān)教學(xué)任務(wù)，為了提高儀器設(shè)備的利用率，做到實驗設(shè)備資源的不浪費，計劃成立一間半導(dǎo)體物理實驗專屬的實驗室，用于陳放新購置的實驗設(shè)備，在沒有教學(xué)任務(wù)的學(xué)期，該實驗室做為科研實驗室和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實驗室使用。通過近三年的建設(shè)，半導(dǎo)體物理實驗專屬實驗室———新能源材料與電子器件工程創(chuàng)新實驗室建成并投入使用，該實驗室為電子材料與器件工程方向的本科生畢業(yè)論文設(shè)計以及全院本科生的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實驗設(shè)計提供了基本保障，更為重要的是該實驗室的建成極大地改善了半導(dǎo)體物理實驗的原有教學(xué)條件，解決了實際困難，使得半導(dǎo)體物理實驗教學(xué)效果顯著提升。不僅加強(qiáng)了學(xué)生對專業(yè)核心知識理解和掌握，而且啟發(fā)學(xué)生綜合運用所學(xué)知識創(chuàng)造性地解決實際問題，有效提高學(xué)生的實踐動手能力、創(chuàng)新能力和綜合素質(zhì)。2．2實驗教學(xué)內(nèi)容的更新。半導(dǎo)體物理實驗是一門72學(xué)時的實驗課，在專屬實驗室建成后，按照重視基礎(chǔ)、突出綜合、強(qiáng)調(diào)創(chuàng)新、提升能力的要求，逐步培養(yǎng)與提高學(xué)生的科學(xué)實驗素質(zhì)和創(chuàng)新能力，構(gòu)建了“九—八—五”新的實驗內(nèi)容體系，包括如下三個層次(表1)。第一層次為“九”個基礎(chǔ)型實驗，涵蓋對半導(dǎo)體材料的物理性質(zhì)(結(jié)構(gòu)、電學(xué)、光學(xué))的測定，通過對物理量的測量驗證物理規(guī)律，訓(xùn)練學(xué)生觀察、分析和研究半導(dǎo)體物理實驗現(xiàn)象的能力，掌握常用基本半導(dǎo)體物理實驗儀器的原理、性能和測量方法等。第二層次為“八”個提高型實驗(綜合、應(yīng)用性實驗)，學(xué)生通過第一層次的實驗訓(xùn)練后，已掌握了基本的實驗方法和技能，在此基礎(chǔ)上，開展綜合性實驗，可以培養(yǎng)學(xué)生綜合運用所學(xué)知識以及分析和解決問題的能力。通過應(yīng)用性實驗培養(yǎng)學(xué)生將來利用設(shè)備原理從事生產(chǎn)或者技術(shù)服務(wù)的能力。第三層次為“五”個設(shè)計創(chuàng)新型實驗，學(xué)生需運用多學(xué)科知識、綜合多學(xué)科內(nèi)容，結(jié)合教師的科研項目進(jìn)行創(chuàng)新研究，通過設(shè)計型實驗可以鍛煉學(xué)生組織和自主實驗的能力，著力培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新實踐能力和基本的科研素質(zhì)。每個基礎(chǔ)型實驗4學(xué)時，提高型實驗8學(xué)時，創(chuàng)新型實驗12學(xué)時，規(guī)定基礎(chǔ)型為必修實驗，提高型、創(chuàng)新型為選作實驗。九個基礎(chǔ)型實驗全部完成后，學(xué)生可根據(jù)興趣和畢業(yè)設(shè)計要求在提高型、創(chuàng)新型實驗中各分別選做一定數(shù)量的實驗，在開課學(xué)期結(jié)束時完成至少72個學(xué)時的實驗并獲得成績方為合格。2．3實驗教學(xué)方式的優(yōu)化。在教學(xué)方式上，建立以學(xué)生為中心、學(xué)生自我訓(xùn)練為主的教學(xué)模式，充分調(diào)動學(xué)生的主觀能動性。將之前老師實驗前的講解轉(zhuǎn)變?yōu)閷W(xué)生代表講解實驗內(nèi)容，然后老師提問并補(bǔ)充完善，在整個實驗安排過程中，實驗內(nèi)容由淺入深、由簡單到綜合、逐步過渡至設(shè)計和研究創(chuàng)新型實驗。三個層次的實驗內(nèi)容形成連貫的實驗梯度教學(xué)體系，在充分激發(fā)學(xué)生學(xué)習(xí)興趣的同時，培養(yǎng)學(xué)生自主學(xué)習(xí)、自發(fā)解決問題的能力。2．4實驗考核機(jī)制的改革。目前大部分實驗課的成績由每次實驗后的“實驗報告”的平均成績決定，然而單獨一份實驗報告并不能夠完整反應(yīng)學(xué)生的實際動手操作能力和對實驗內(nèi)容的熟悉程度。因此，本課程將此改革為總成績由每次“實驗”的平均成績決定。每次實驗成績包括實驗預(yù)習(xí)、實驗操作和實驗報告三部分，實驗開始前通過問答以及學(xué)生講解實驗內(nèi)容來給出實驗預(yù)習(xí)成績;實驗操作成績是個團(tuán)隊成績反映每組實驗學(xué)生在實驗過程中的動手能力以及組員之間的相互協(xié)助情況;針對提高型和創(chuàng)新性實驗，特別是創(chuàng)新性實驗，要求以科技論文的形式來撰寫實驗報告，以此來鍛煉本科生的科技論文寫作能力。通過三部分綜合來給出的實驗成績更注重對知識的掌握、能力的提高和綜合素質(zhì)的培養(yǎng)等方面的考核。

3半導(dǎo)體物理實驗課程改革后的成效

半導(dǎo)體物理實驗在我校本科教學(xué)項目的支持下，購置并更新了實驗設(shè)備建立了專屬實驗室，構(gòu)建了“九—八—五”新實驗內(nèi)容體系，并采用新的教學(xué)方式和考核機(jī)制，教師和學(xué)生普遍感覺到新實驗教學(xué)體系的目的性、整體性和層次性都得到了極大的提高。教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方式的調(diào)整，使學(xué)生理論聯(lián)系實際的能力得到增強(qiáng)，提高了學(xué)生的積極性和主動性。實驗中學(xué)生實際動手的機(jī)會增多，對知識的渴求程度明顯加強(qiáng)，為了更好地完成創(chuàng)新設(shè)計實驗，部分本科生還會主動去查閱研中英文科技文獻(xiàn)，真正做到了自主自覺的學(xué)習(xí)。通過實驗課程的教學(xué)，學(xué)生掌握了科技論文的基本格式，數(shù)據(jù)處理的圖表制作，了解了科學(xué)研究的過程，具備了基本的科研能力，也為學(xué)生的畢業(yè)設(shè)計打下了良好的基礎(chǔ)。與此同時，利用新購置的實驗設(shè)備建立的實驗室，在做為科研實驗室和創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實驗室使用時，也取得了優(yōu)異的成績。依托本實驗室，2015年“國家級大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)訓(xùn)練計劃”立項3項，2016年“國家級大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)訓(xùn)練計劃”立項4項。

4結(jié)語

半導(dǎo)體論文范文第2篇

（一）市場經(jīng)濟(jì)對大學(xué)生道德教育工作的挑戰(zhàn)

現(xiàn)代市場經(jīng)濟(jì)所包含的個體本位、優(yōu)勝劣汰等原則，往往會使一些學(xué)生對個人利益的要求更加強(qiáng)烈，奮斗欲、成就欲也更加迫切，而當(dāng)這些欲望膨脹到一定程度時，便會誘發(fā)極端個人主義，從而可能淡化大學(xué)生的集體意識和群體意識。且市場經(jīng)濟(jì)的逐利性特點，也容易誘導(dǎo)大學(xué)生急功近利，重利輕義，產(chǎn)生拜金主義、享樂主義和利己主義，不利于大學(xué)生正確世界觀、人生觀和價值觀的形成。

（二）信息網(wǎng)絡(luò)化對大學(xué)生道德教育的挑戰(zhàn)

網(wǎng)絡(luò)的虛擬化易導(dǎo)致大學(xué)生人際交往的障礙，必然會影響和改變其生活方式，產(chǎn)生人際障礙，人際關(guān)系淡漠和人際距離疏遠(yuǎn)，并導(dǎo)致孤獨、苦悶、焦慮、壓抑，甚至情緒低落、消沉、精神不振等。同時，互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展方便了西方思想文化的滲透，這對大學(xué)生的世界觀、人生觀、理想信念、道德倫理、民族認(rèn)同感等會造成潛移默化的扭曲、侵蝕和消磨，而且也使我們的思想教育工作效果受到極大的削弱。

二、大學(xué)生主題班會對思想道德教育的重要意義

大學(xué)生主題班會是對大學(xué)生進(jìn)行素質(zhì)教育的一項最基本、最常用的途徑之一，是開展學(xué)生教育管理和道德素質(zhì)建設(shè)的一個重要載體和陣地，近年來越來越受到高校領(lǐng)導(dǎo)的重視，借助主題班會來提高大學(xué)生思想素質(zhì)有著重要意義。

（一）增強(qiáng)思想教育的吸引力，幫助大學(xué)生明確思想認(rèn)識

大學(xué)生對社會接觸較少，社會經(jīng)驗往往不足，且個體之間經(jīng)歷不同，在認(rèn)識層次、認(rèn)識水平上存在一定差異，對社會上存在的問題以及個人自身的成長與發(fā)展認(rèn)識也就不同，難以避免片面性和模糊性，有的甚至比較偏激，這就需要相關(guān)引導(dǎo)使學(xué)生形成正確的思想認(rèn)識。而主題班會一般從大學(xué)生的現(xiàn)實生活中取材，內(nèi)容大多和學(xué)生的生活息息相關(guān)，通過新穎的主題班會可以吸引學(xué)生充分參與，引導(dǎo)學(xué)生主動積極探究，從生動的體驗中獲得對世界、人生、自我的認(rèn)知，讓他們學(xué)會獨立思考、獨立生活、獨立生存。

（二）增強(qiáng)班級向心力，促進(jìn)師生交流

一個真正意義上的大學(xué)班集體，并不是若干個大學(xué)生的一種簡單組合，它的建立有一個過程，需要大學(xué)生由彼此陌生到互相熟悉最終到互相了解并在此基礎(chǔ)上產(chǎn)生向心力進(jìn)而產(chǎn)生凝聚意識，這是大學(xué)階段的班級得以牢牢維系的根本所在。而一個高質(zhì)量的主題班會氛圍輕松活潑，能夠調(diào)動全班同學(xué)參與活動，有助于增強(qiáng)班級成員的自豪感、凝聚力、自信心，同時在這種環(huán)境中互動，更容易拉近老師與學(xué)生以及學(xué)生與學(xué)生之間的距離，促進(jìn)彼此之間的了解。并且班導(dǎo)師在參與班會過程中可以進(jìn)一步了解學(xué)生的思想動態(tài)，提升他們的判斷力、思考力，從而輔助其對學(xué)生的思想教育。

（三）有助于學(xué)校、院系德育工作的開展

班會時間可以被充分利用來積極宣傳落實學(xué)校、院系的各項工作、規(guī)章制度、文件精神，增進(jìn)大學(xué)生對學(xué)校德育工作的了解。同時大學(xué)生對學(xué)校的態(tài)度也被及時反饋到學(xué)校。這樣，有利于擴(kuò)大學(xué)校德育工作的宣傳范圍，增強(qiáng)其宣傳力度，提高影響度，取得思想教育的效果。

三、我國大學(xué)生主題班會的現(xiàn)狀

目前，隨著大學(xué)生的思想政治教育問題日益引起社會的廣泛關(guān)注，中國各大高校也將主題班會列為必不可少的一項教學(xué)內(nèi)容。我國高校開展主題班會較為積極，盡量朝著內(nèi)容多樣化的方向努力，組織也做到正規(guī)有序，確實起到了一定思想教育的作用。但是我國大學(xué)生主題班會存在的問題也不容小覷。主要不足如下：

（一）對主題班會沒有一個明確的功能定位

不明確的功能定位導(dǎo)致主題班會職責(zé)不明確，效果得不到保證。且班會的主題大都空泛，使得主題班會往往流于事務(wù)性和形式化，并未真正發(fā)揮主題班會的思想教育的作用和價值，從而降低了主題班會課的教育效果。

（二）開展過于頻繁

很多高校從大一開始就不斷地舉行班會，少則兩周一次，少則一周舉行兩三次，過于頻繁的班會占用了學(xué)生太多時間，且內(nèi)容也因此無關(guān)痛癢沒什么實質(zhì)性意義，一次班會往往點個名，有事即說，無事便散，有些班會甚至只有短短十幾分鐘，讓參加的學(xué)生苦笑不已，甚至產(chǎn)生對主題班會教育意義的質(zhì)疑。

（三）內(nèi)容空洞枯燥，索然無味

雖然高校們也正努力打破班會無聊，沒有收獲的僵局，試圖做到班會內(nèi)容豐富多樣化，但顯然這種努力遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，成效也不明顯。大部分班級的班會以點名和通知事務(wù)的形式為主，不然就是班導(dǎo)師和班干部的單方面灌輸，形式也突破不了傳統(tǒng)的討論與文藝節(jié)目，久而久之難免使學(xué)生喪失積極性，引起不滿。

四、針對現(xiàn)階段我國大學(xué)生主題班會問題的解決方法

（一）發(fā)揮班導(dǎo)師在班會中的指導(dǎo)作用

班導(dǎo)師是班級的主心骨，班導(dǎo)師對待班會的態(tài)度，直接影響著學(xué)生對待班會的態(tài)度。因此，班導(dǎo)師必須嚴(yán)格要求自己，以高度的責(zé)任心投入到班會工作之中。班導(dǎo)師對班會的內(nèi)容、形式與大學(xué)生進(jìn)行研究，達(dá)成共識后一錘定音，不再更改，但要把握好班會的方向；之后，班導(dǎo)師要根據(jù)內(nèi)容，與班干部討論，從而采取好的形式，精心設(shè)計班會，確保每次班會都在班導(dǎo)師的宏觀指導(dǎo)之下完成，可以防止大學(xué)生在一些問題把握上的不穩(wěn)定性，班會的威信也可以更好地在大學(xué)生中確立起來。同時，班導(dǎo)師在班會上要用飽滿的熱情真誠地贊美一切美的事物和現(xiàn)象，抨擊各種不良的行為。要將自己的人格與正義融入一言一行中，用楷模的力量去引導(dǎo)學(xué)生，熏陶學(xué)生，啟迪學(xué)生的道德覺悟，增強(qiáng)學(xué)生的道德意識，培養(yǎng)學(xué)生的道德責(zé)任感。隨著班導(dǎo)師指導(dǎo)班會的次數(shù)增多，學(xué)生干部就會汲取經(jīng)驗，掌握舉行班會的重點與要點，這時班導(dǎo)師就可以放權(quán)交給學(xué)生自行開展，但也要定時參與到班會當(dāng)中來。

（二）豐富內(nèi)容

結(jié)合國際、國內(nèi)大事，重要節(jié)日、紀(jì)念日，學(xué)校、院系的工作狀況班級工作的實際以及大學(xué)生學(xué)習(xí)、生活和心理上的需要，廣泛宣傳和教育學(xué)生所關(guān)注的問題，交流解答疑難困惑，并將社會主義榮辱觀等重要內(nèi)容滲透進(jìn)來，使班會不再是追求形式的敷衍，而令學(xué)生確有收獲。這樣，在滿足大學(xué)生的需求的同時，也取得了意想不到的德育效果。

（三）適度安排班會組織的頻率與時間

盡量少占用學(xué)生的課余時間，做到數(shù)量適中但卻不失為精華。豐富班會開展的形式，可以采用不同學(xué)生輪流主持，演講，小組討論，辯論賽的形式，使更多的學(xué)生更好地參與進(jìn)來。最好還能將班會的地點擴(kuò)展到室外，舉行一些主題活動，實踐演練，幫助學(xué)生在實際參與中了解班會的內(nèi)容和要旨，并產(chǎn)生對班會工作的信心與濃厚興趣，從而獲得學(xué)生們的支持。

（四）善于總結(jié)亮點與不足，借鑒其他班級的經(jīng)驗

半導(dǎo)體論文范文第3篇

武大偉說，第五輪六方會談第二階段會議就落實共同聲明的措施和起步階段各方將采取的行動進(jìn)行了有意義的探討。此后，各方繼續(xù)以多種方式保持密切溝通和協(xié)調(diào)。朝美進(jìn)行了深入的雙邊接觸，這些努力為本次會議的召開奠定了更加成熟的基礎(chǔ)。各方重聚北京，繼續(xù)就落實共同聲明的起步行動和工作機(jī)制交換意見，具有重要意義。希望各方在過去兩次的基礎(chǔ)上，做出新的努力，使本次會議成為落實共同聲明的良好開端，成為實現(xiàn)朝鮮半島無核化進(jìn)程中的一個新起點。他表示，中方愿與其他各方密切合作，為實現(xiàn)會議的目標(biāo)做出建設(shè)性的努力。

開幕式后舉行了全體會。各方團(tuán)長在坦率、務(wù)實的氣氛中就有關(guān)問題發(fā)表了各自的看法和主張，一致重申了堅持六方會談，通過對話以和平方式解決朝鮮半島核問題，實現(xiàn)半島無核化的意志和決心，表示要以積極認(rèn)真的姿態(tài)進(jìn)行會談，克服各種困難和挑戰(zhàn)，爭取就落實共同聲明起步階段的行動達(dá)成共識，不斷推動六方會談進(jìn)程。

2月9日上午，第五輪六方會談第三階段會議舉行了團(tuán)長會議，下午又是一系列雙邊磋商，本階段會談進(jìn)入“磨合期”。

中國代表團(tuán)當(dāng)天分別與朝鮮、俄羅斯、韓國、日本、美國代表團(tuán)進(jìn)行了雙邊接觸。雙邊接觸前，六方團(tuán)長舉行了近兩個小時的小范圍會議。

此外，當(dāng)天中午美朝雙方代表團(tuán)團(tuán)長進(jìn)行了會談，并且在北京金融街的麗斯卡爾頓酒店共進(jìn)了午餐，這是美朝在此階段六方會談期間的首次雙邊接觸。

午餐后，朝鮮代表團(tuán)團(tuán)長金桂冠表示：“我和希爾就推動會談取得進(jìn)展的方案交換了意見。我們已經(jīng)就一些問題達(dá)成了共識。但是，整體上仍然有分歧，我們正在努力增加共識?！?/p>

而美國代表團(tuán)團(tuán)長希爾則向媒體透露：“我們綜合討論了‘9?19共同聲明’所涉及的一切議題。朝鮮在棄核起步階段應(yīng)采取的行動全部包含在聲明里，沒有新內(nèi)容。但是‘9?19共同聲明’中哪些內(nèi)容將被列入此次的協(xié)議草案，哪些內(nèi)容需要等到3月份以后考慮，還要經(jīng)過進(jìn)一步的磋商。”

希爾同時表示，美方對會談進(jìn)程持謹(jǐn)慎樂觀的態(tài)度。

除此之外，美朝雙方還就中方提出的協(xié)議草案進(jìn)行了商談，希爾對此表示：“我們努力就協(xié)議上的文字進(jìn)行磋商，而且還要保證雙方對于文字表達(dá)意思的理解是一致的，這是很困難的事情?！?/p>

此前，韓國、日本以及美國代表團(tuán)都已經(jīng)證實中方向其它各方提出一份協(xié)議草案，但各代表團(tuán)均未正式透露草案內(nèi)容。韓國代表團(tuán)副團(tuán)長任圣南當(dāng)天表示，各方對中方提出的草案“在大的框架內(nèi)達(dá)成相當(dāng)程度的共識”。

據(jù)俄羅斯駐華使館新聞處處長伊薩耶夫介紹，此份草案包括建立5個工作小組，將就朝鮮棄核后的一系列問題展開實質(zhì)性的工作。其一是由專家組成的工作小組直接就朝鮮停止核武項目問題開展行動。另外4個工作小組負(fù)責(zé)相應(yīng)的4個主題：援助朝鮮項目，包括經(jīng)濟(jì)和能源援助、東北亞安全合作問題，剩下的兩個則是朝鮮與日本、美國關(guān)系正?；瘑栴}。此外，中方的提議還包括在2個月左右的時間內(nèi)，朝鮮凍結(jié)自己的核項目，其中包括寧邊反應(yīng)堆，以交換對平壤的能源援助。

各方圍繞幾方面議題展開討論，將構(gòu)成起步階段行動計劃的基礎(chǔ)。但是各方對草案仍存一定的分歧，其中最大的障礙是美國再次提出將“凍結(jié)”朝鮮寧邊核設(shè)施改為“拆除”的建議，而朝鮮則堅決予以反對。

當(dāng)晚，外交部副部長戴秉國在釣魚臺國賓館會見了參加第五輪六方會談第三階段會議的各國代表團(tuán)團(tuán)長。

戴秉國對六方重聚北京表示歡迎。他指出，事實證明，六方會談是解決朝鮮半島核問題的有效機(jī)制。落實好共同聲明是六方的共同愿望，也是國際社會的普遍期待。兩天來，各方進(jìn)行了認(rèn)真的討論。相信只要各方抱有誠意，堅持不懈，認(rèn)真談判，就一定能夠克服困難，為落實共同聲明開好頭、起好步，推動六方會談不斷取得進(jìn)展。

各方團(tuán)長對中方為推動六方會談作出的建設(shè)性努力予以高度贊賞，表示通向半島無核化的道路充滿希望，也有坎坷。各方愿共同努力，縮小分歧，擴(kuò)大共識，切實落實共同聲明，朝著既定的目標(biāo)一步步邁進(jìn)。

2月12日，會議進(jìn)入第五天，也是關(guān)鍵的一天。從當(dāng)天上午10時開始，會談各方已經(jīng)進(jìn)行了約16個小時的緊張磋商，繼續(xù)為達(dá)成各方都能認(rèn)可的書面協(xié)議做最后的努力。

據(jù)六方會談新聞中心的消息，當(dāng)天會談各方舉行了“車輪戰(zhàn)式”的雙邊磋商。其中，日本和朝鮮代表團(tuán)舉行了此次會議以來首次雙邊磋商，磋商持續(xù)約一個小時。朝鮮和美國代表團(tuán)也舉行了至少兩次雙邊磋商。

2月13日下午，第五輪六方會談第三階段會議在釣魚臺國賓館舉行了全體會和閉幕式。武大偉主持了會議。

武大偉說，在各方共同努力下，本次會議就落實共同聲明起步行動達(dá)成重要共識，這標(biāo)志著六方會談和朝鮮半島無核化進(jìn)程又向前邁出了重要而堅實的一步，有利于半島和東北亞地區(qū)的和平、穩(wěn)定與發(fā)展，有利于有關(guān)國家改善和發(fā)展相互關(guān)系，也有利于構(gòu)筑和諧東北亞新格局。

武大偉對各方在會談中顧全大局、顯示靈活、相向而行的積極態(tài)度和做出的建設(shè)性努力表示贊賞，希望各方履行相應(yīng)義務(wù)，盡快啟動相關(guān)工作，落實好起步階段各項行動和措施。

武大偉表示，希望六方協(xié)調(diào)一致，乘風(fēng)破浪，把六方會談的航船駛向和平、發(fā)展、合作、共贏的彼岸。

會議以全體起立鼓掌方式通過了落實共同聲明起步行動文件（全文另載），并決定第六輪六方會談于3月19日在北京舉行。

當(dāng)天下午，國務(wù)委員唐家璇在釣魚臺國賓館會見了出席第五輪六方會談第三階段會議的各方代表團(tuán)團(tuán)長。

唐家璇代表中國政府對各方經(jīng)過艱苦努力，就落實共同聲明起步行動達(dá)成共識，第五輪六方會談取得積極成果表示祝賀。他說，六方不僅確定了落實共同聲明起步階段的具體行動，還就如何落實的機(jī)制達(dá)成了共識，這是六方會談取得的一個重大突破，標(biāo)志著朝鮮半島無核化進(jìn)程邁入實質(zhì)性階段，充分體現(xiàn)了各方通過和平協(xié)商實現(xiàn)半島無核化的政治意愿。

唐家璇說，這次會議取得積極成果的重要意義之一，就是展示了六方會談的生命力，證明六方會談是解決半島核問題的現(xiàn)實有效途徑，是各方通過對話增進(jìn)理解與信任、通過合作構(gòu)筑和諧東北亞新格局的重要平臺，也證明通過對話協(xié)商和平解決國際爭端是一條正確、可行的道路。

唐家璇指出，繼續(xù)推動實現(xiàn)半島無核化進(jìn)程，實現(xiàn)有關(guān)國家關(guān)系正?；?，維護(hù)東北亞地區(qū)和平與穩(wěn)定，符合各方根本利益。希望各方繼續(xù)努力，顯示政治意志和智慧，體現(xiàn)靈活與耐心，在任何情況下都要堅持對話解決的方向，認(rèn)真履行各自的承諾，不斷推動六方會談繼續(xù)取得更大的成果。唐家璇表示，中國政府堅定支持本次會議達(dá)成的文件，愿意承擔(dān)相應(yīng)的義務(wù)。

朝、日、韓、俄、美5方團(tuán)長高度贊賞中方為推動本輪會談取得成果所發(fā)揮的重要作用，一致表示本次會議是半島無核化進(jìn)程中新的里程碑，各方愿認(rèn)真履行各自承擔(dān)的責(zé)任和義務(wù)，兌現(xiàn)承諾，實施好起步階段的行動，在共同推動六方會談進(jìn)程中不斷增進(jìn)互信，加強(qiáng)合作，致力于實現(xiàn)東北亞地區(qū)持久和平、穩(wěn)定與繁榮。

會議閉幕后，各代表團(tuán)對中方作為東道主為勸和促談做的大量工作給予了積極評價。

半導(dǎo)體論文范文第4篇

它具有高擊穿電場、高飽和電子速度、高熱導(dǎo)率、高電子密度、高遷移率等特點，可實現(xiàn)高壓、高溫、高頻、高抗輻射等能力。

它的應(yīng)用范圍覆蓋半導(dǎo)體照明、新一代移動通信、智能電網(wǎng)、高速軌道交通、新能源汽車、消費類電子等朝陽領(lǐng)域。

它被視為未來支撐信息、能源、交通、國防等產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重點新材料，將引領(lǐng)光電產(chǎn)業(yè)的新一輪革命。

它就是以碳化硅（SiC）、氮化鋁（AlN）、氮化鎵（GaN）等為代表的第三代半導(dǎo)體材料，如今世界各國爭相布局的戰(zhàn)略高地。

在世界范圍內(nèi)，第三代半導(dǎo)體材料在各個領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)成熟度各有不同，在某些前沿研究方向，仍處于實驗室研發(fā)階段。盡管我國起步較晚，發(fā)展較緩，無論基礎(chǔ)研究還是產(chǎn)業(yè)化推進(jìn)都仍有很長的路要走，但這并未影響該領(lǐng)域內(nèi)科研人員潛心攻關(guān)、奮起直追的決心。

哈爾濱工業(yè)大學(xué)基礎(chǔ)與交叉科學(xué)研究院宋波教授，就是奮戰(zhàn)在我國第三代半導(dǎo)體材料研究最前沿的優(yōu)秀科研人員之一。

他L期從事第三代寬禁帶半導(dǎo)體材料的生長與物性研究，凝練了氣相質(zhì)量輸運動態(tài)平衡控制及溫場調(diào)控等關(guān)鍵科學(xué)問題，對碳化硅、氮化鋁等光電功能晶體生長過程的動力學(xué)優(yōu)化、關(guān)鍵工藝參數(shù)控制與物理性質(zhì)調(diào)控等相互關(guān)聯(lián)的科學(xué)問題開展了系統(tǒng)研究，成果頗豐。

雛鳳新聲，結(jié)緣寬禁帶半導(dǎo)體

一代材料，一代器件，一場革命。材料的重要性，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)得到印證。

以硅（Si）為代表的第一代半導(dǎo)體材料，引發(fā)了電子工業(yè)大革命；以砷化鎵（GaAs）為代表的第二代半導(dǎo)體材料，則拓展了半導(dǎo)體在高頻、光電子等方面的應(yīng)用，使人類進(jìn)入光纖通信、移動通信的新時代。而如今，正是第三代半導(dǎo)體材料“大展身手”的時代。

第三代半導(dǎo)體材料又叫寬禁帶半導(dǎo)體，是指禁帶寬度大于2 eV（電子伏特）的一類半導(dǎo)體，以碳化硅、氮化鋁、氮化鎵、立方氮化硼（C-BN）等為主要代表。它們所表現(xiàn)出的高溫下的穩(wěn)定性、高效的光電轉(zhuǎn)化能力、更低的能量損耗等絕對優(yōu)勢，吸引了業(yè)界的普遍關(guān)注，有望全面取代傳統(tǒng)半導(dǎo)體材料，開啟半導(dǎo)體新時代。

宋波進(jìn)入這一領(lǐng)域是在博士階段。那是2005年前后，他正就讀于中國科學(xué)院物理研究所，師從我國著名晶體結(jié)構(gòu)專家陳小龍研究員開展研究。當(dāng)時國內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體研究起步不久，各項研究都非常薄弱。

2008年，宋波回到家鄉(xiāng)哈爾濱，并在哈爾濱工業(yè)大學(xué)韓杰才院士引薦下加入該?；A(chǔ)與交叉科學(xué)研究院。在這里，宋波確立了寬禁帶半導(dǎo)體生長與物性研究這一研究方向，立志從基礎(chǔ)研究領(lǐng)域著手，改善我國關(guān)鍵性、基礎(chǔ)性戰(zhàn)略材料依賴進(jìn)口的局面，促進(jìn)寬禁帶半導(dǎo)體材料和器件產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，提升產(chǎn)業(yè)核心競爭力，縮小與西方國家的差距。

在近十年的研究過程中，宋波作為課題負(fù)責(zé)人承擔(dān)了包括國家自然科學(xué)基金項目、總裝“十二五”預(yù)先研究重點項目、科技部國際科技合作項目等在內(nèi)的20多項科研項目，在J. Am. Chem. Soc.， Nano Lett.， Phys. Rev. Lett.， Adv. Funct. Mater.， Phys. Rev. B等國際著名SCI學(xué)術(shù)雜志上100余篇，論文被正面他引1000余次；獲得授權(quán)發(fā)明專利13項。特別是在SiC基稀磁半導(dǎo)體和AIN基晶體生長研究方向，取得了一系列創(chuàng)新性成果，引領(lǐng)了國內(nèi)外相關(guān)研究的進(jìn)步，在行業(yè)內(nèi)形成了一定的影響力。

層層深入，攻關(guān)SiC基稀磁半導(dǎo)體

稀磁半導(dǎo)體是自旋電子學(xué)的材料基礎(chǔ)，能夠同時利用電子的電荷屬性和自旋屬性，兼具半導(dǎo)體和磁性的性質(zhì)，新穎而獨特，是第三代半導(dǎo)體材料的熱點研究之一。

現(xiàn)階段，GaAs、GaN和ZnO基稀磁半導(dǎo)體的研究已經(jīng)取得了突破性進(jìn)展，但仍無法滿足人們對自旋器件高溫、高頻、大功率和抗輻射等性能的要求，SiC基的出現(xiàn)恰逢其時。宋波在這一前沿方向進(jìn)行了廣泛而深入的研究，并取得了系列研究進(jìn)展。

他提出了非磁性元素Al摻雜制備SiC基稀磁半導(dǎo)體，在200 K觀察到了玻璃態(tài)的鐵磁有序，同時實現(xiàn)了4H-SiC晶型的穩(wěn)定可控。首次提出了非磁性元素?fù)诫sAlN基稀磁半導(dǎo)體的研究思路，有效地避免磁性雜質(zhì)的引入，為探討稀磁半導(dǎo)體的磁性來源提供了理想的實驗體系。

論文在2009年發(fā)表后，至今已被他引50余次，得到不少業(yè)內(nèi)專業(yè)人士的直接認(rèn)可，認(rèn)為其啟迪了思考。中國科學(xué)院外籍院士C.N.R. Rao教授就曾在論文中直言：宋等的工作顯示了鐵磁性不是來自磁性雜質(zhì)而是來自于sp3雜化向sp3-sp2混合雜化轉(zhuǎn)變的過程中所導(dǎo)致。

隨著研究的不斷深入，宋波的研究也漸入佳境――

同樣在2009年，他利用在h-BN中的實驗結(jié)果證實了美國布法羅州立大學(xué)Peihong Zhang教授等人的理論預(yù)言，即在帶隙寬度達(dá)5.5 eV的h-BN中存在缺陷直接誘導(dǎo)的內(nèi)稟磁性。這一成果獲得了包括波蘭科學(xué)院物理研究院O. Volnianska教授在內(nèi)的業(yè)界專家的正面引用和廣泛認(rèn)可。

2010年，他提出了雙元素（Al，TM）復(fù)合摻雜SiC基稀磁半導(dǎo)體的研究思路。在Al摻雜穩(wěn)定4H-SiC晶型的基礎(chǔ)之上，同時摻雜磁性過渡金屬元素，來獲得高Tc、高矯頑力和高剩磁的稀磁半導(dǎo)體。

2011年，他提出了采用缺陷工程調(diào)控半導(dǎo)體磁性的新方向。與合作者一起采用中子輻照在碳化硅晶體中誘導(dǎo)出了以硅-碳雙空位為主的缺陷，在實驗上給出了硅-碳雙空位導(dǎo)致鐵磁性的證據(jù)，并從理論上揭示了雙空位產(chǎn)生磁性的物理機(jī)制，證實了磁性元素并非半導(dǎo)體磁性的唯一來源，為深入探究寬禁帶半導(dǎo)體的磁性起源提供了新的科學(xué)認(rèn)識。在此之后，國內(nèi)外有超過18個研究小組開展了缺陷誘導(dǎo)半導(dǎo)體磁性的研究工作，并在相關(guān)論文中引用了他們的成果，將其列為缺陷導(dǎo)致磁性的典型例子。

把握前沿，初探AIN晶體生長

AlN基的高溫、高頻、高功率微波器件是雷達(dá)、通信等現(xiàn)代化軍事和航天裝備等領(lǐng)域急需的電子器件。

宋波介紹，與其它的半導(dǎo)體材料相比，AlN基低維材料的形貌較為單一，這導(dǎo)致對其新性質(zhì)和新應(yīng)用的探索受到了較大的制約。

因此，深入開展生長動力學(xué)研究，探究生長過程中質(zhì)量輸運-溫場分布-成核動力學(xué)的內(nèi)在關(guān)聯(lián)，從微觀機(jī)理上闡述物性變化的原因，探索新奇物理效應(yīng)，成為制約寬禁帶半導(dǎo)體發(fā)展的關(guān)鍵科學(xué)問題，同時也是一項亟待開展的基礎(chǔ)性研究工作。

在這一研究方向，宋波同樣取得了不俗的成績――

（一）在AlN機(jī)理生長方面，首次發(fā)現(xiàn)本征的六重螺旋生長機(jī)制。

他@得了單晶AlN納米和微米彈簧、AlN螺旋結(jié)構(gòu)、AlN平面六邊形環(huán)等新穎納米結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)性研究首次發(fā)現(xiàn)AlN納米/微米結(jié)構(gòu)和AlN單晶都遵循六重對稱的旋轉(zhuǎn)生長機(jī)制。

這一發(fā)現(xiàn)極大地豐富了人們對于AlN晶生長機(jī)理的認(rèn)識，對調(diào)控AlN生長形貌，獲得大尺寸、低缺陷密度的AlN晶體具有重要參考價值。

（二）在AlN新物理性質(zhì)探索方面，他首次在AlN微米螺旋結(jié)構(gòu)中發(fā)現(xiàn)了時間長達(dá)300秒的長余輝效應(yīng)。

研究中，他分別從理論和實驗上對AlN螺旋結(jié)構(gòu)中氮空位和鋁間隙耦合效應(yīng)進(jìn)行了研究。首次發(fā)現(xiàn)氮空位和鋁間隙的共同作用會誘導(dǎo)出新的能級，進(jìn)而導(dǎo)致長余輝效應(yīng)的顯現(xiàn)。這一發(fā)現(xiàn)，豐富了人們對于AlN基本物理性質(zhì)的認(rèn)識，為設(shè)計和制造新型AlN基光電子器件提供理論指導(dǎo)。

在AlN納米線螺旋結(jié)構(gòu)的力學(xué)測試中首次發(fā)現(xiàn)了AlN單晶螺旋中存在彈性形變。該發(fā)現(xiàn)為制備AlN基納米器件提供了進(jìn)一步的認(rèn)識。

（三）在AlN晶體生長方面，突破了多項關(guān)鍵技術(shù)，包括形核溫度控制技術(shù)、晶粒長大過程控制技術(shù)、形核控制技術(shù)等。

研究中，宋波掌握了包括電阻率及均勻性控制技術(shù)、多型缺陷濃度控制技術(shù)以及晶體質(zhì)量穩(wěn)定性控制技術(shù)等在內(nèi)的多項關(guān)鍵技術(shù)，獲得了高質(zhì)量的晶體材料。

他所獲得的直徑達(dá)35mm的雙面拋光片，位錯密度小于107個/cm2，申報了國家發(fā)明專利7項，研究水平居于國內(nèi)領(lǐng)先地位。

他重新設(shè)計和研制了全鎢的晶體生長爐、AlN原料原位補(bǔ)充系統(tǒng)和垂直梯度坩堝。試驗結(jié)果表明，采用新的生長組合系統(tǒng)大大提高了AlN的晶體質(zhì)量，其中AlN晶體的主要缺陷密度，特別是O（氧）含量降低了約3個數(shù)量級，電阻率提高了約2個數(shù)量級，為進(jìn)一步獲得高質(zhì)量的AlN晶體提供了技術(shù)支撐。

多年來，宋波非常在意與國際學(xué)者的交流與合作，不僅承擔(dān)了科技部國際科技合作項目，還在多年的研究中與美國威斯康星大學(xué)麥迪遜分校Song Jin教授、西班牙科爾多瓦大學(xué)Rafael Luque教授建立了廣泛的合作關(guān)系。特別值得一提的，是在對俄對烏合作方面，宋波與俄羅斯科學(xué)院固體物理研究所國際知名晶體學(xué)家Vladimir Kurlov教授、國際SiC晶體生長專家Yuri Makarov教授，以及俄羅斯科學(xué)院西伯利亞分院半導(dǎo)體研究所的Oleg Pchelyakov教授、Valerii Preobrazhenskii教授建立了密切的合作關(guān)系，曾多次出訪俄羅斯與烏克蘭相關(guān)科研機(jī)構(gòu)，為推動雙方的科技交流合作作出了重要貢獻(xiàn)。

因表現(xiàn)突出，宋波獲得了2009年黑龍江省自然科學(xué)一等獎、2009年黑龍江省高校自然科學(xué)一等獎等榮譽；得到了教育部“新世紀(jì)優(yōu)秀人才”計劃、哈爾濱工業(yè)大學(xué)“基礎(chǔ)研究杰出人才培育計劃（III類）”和“青年拔尖人才選聘計劃（教授類）”的支持；并在三年內(nèi)連續(xù)兩次獲得副教授和教授的破格提升。2016年，宋波被評為哈爾濱工業(yè)大學(xué)“先進(jìn)個人”。

半導(dǎo)體論文范文第5篇

關(guān)鍵詞：雙語教學(xué)；半導(dǎo)體制造技術(shù)；CMOS工藝集成

中圖分類號：G642.4 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號：1674-9324（2017）11-0213-02

隨著中國加入WTO及中國改革開放的日趨深化，使得我國對雙語復(fù)合型人才的需求程度迅速提高。為了培養(yǎng)雙語復(fù)合型人才，2001年教育部頒發(fā)的《關(guān)于加強(qiáng)高等學(xué)校本科教學(xué)工作提高教學(xué)質(zhì)量的若干意見》中對高等院校的本科教學(xué)提出了使用英語等外語進(jìn)行公共課和專業(yè)課教學(xué)的要求[1]?！半p語教學(xué)”的英文是“bilingual teaching”?！独事鼞?yīng)用語言學(xué)詞典》給出的定義是“The use of a second or foreign language in school for the teaching of content subjects”，即能在W校里使用第二語言或外語進(jìn)行各門學(xué)科的教學(xué)[2]。

《半導(dǎo)體制造技術(shù)》是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的主干課程，系統(tǒng)介紹了集成電路芯片的制造工藝及工藝原理，詳細(xì)描述了集成電路制造的全過程。學(xué)生在初步掌握硅材料制備、氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、金屬化、化學(xué)機(jī)械平坦化等工藝及其設(shè)備的基礎(chǔ)上，掌握CMOS、雙極集成電路的工藝集成及測試封裝等。

一、《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)存在的問題

《半導(dǎo)體制造技術(shù)》涉及電子、機(jī)械、材料、制造、物理、化學(xué)等多種學(xué)科，其理論性和實踐性均較強(qiáng)，且內(nèi)容更新快，在這樣的課程中開展雙語教學(xué)必定會遇到一些問題。

1.學(xué)生英語聽、說、閱讀能力有待提高?！栋雽?dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語課的授課對象是大三學(xué)生。經(jīng)過兩年多的大學(xué)本科教育，大三的學(xué)生雖然具備了一定的專業(yè)基礎(chǔ)知識，大多數(shù)學(xué)生過了國家英語四級考試，而少部分學(xué)生過了國家英語六級考試，但學(xué)生的聽、說、讀、寫訓(xùn)練也僅限于圍繞《大學(xué)英語》課程及應(yīng)試來進(jìn)行，致使學(xué)生們并沒有將這些技能應(yīng)用于專業(yè)知識的學(xué)習(xí)。學(xué)生們沒有接觸過專業(yè)英語，英語專業(yè)詞匯掌握得少之又少，也缺乏英語專業(yè)論文閱讀的經(jīng)驗，專業(yè)論文的寫作更無從談起?！栋雽?dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》課程內(nèi)容廣泛，知識點多。雙語教學(xué)中要求學(xué)生在英語環(huán)境中聽、讀并掌握這些專業(yè)知識點有相當(dāng)?shù)碾y度。

2.雙語教學(xué)師資短缺。雙語教學(xué)教師不僅要有過硬的教學(xué)能力和系統(tǒng)的專業(yè)知識，還要有精深的專業(yè)英語和流利的英語口語功底。這樣不僅讓學(xué)生系統(tǒng)掌握了專業(yè)知識，而且能運用外語熟練進(jìn)行專業(yè)交流，使他們的整體素質(zhì)得以提高。近年來雖國內(nèi)外交流日益頻繁，但就我校的情況而言聘請的國外專家學(xué)者、海歸博士等多從事經(jīng)濟(jì)、金融等領(lǐng)域，還沒有從事電子科學(xué)相關(guān)領(lǐng)域的外聘的國外學(xué)者和海歸博士。雙語教學(xué)的任務(wù)主要由有過旅美經(jīng)歷的、有豐富的專業(yè)課教學(xué)經(jīng)驗的高級教師來負(fù)責(zé)。但具備這樣條件的教師數(shù)量也非常有限，不能形成團(tuán)隊協(xié)作。

3.教材及教學(xué)方法的選擇?！栋雽?dǎo)體制造技術(shù)》國內(nèi)外教材很多，各教材側(cè)重點不同，有的偏重于科學(xué)研究，有的偏重于工程實踐；內(nèi)容各不盡相同；難易程度各不相同；受者群也各不相同。從良莠不齊的眾多教材中選擇合適的教材是至關(guān)重要的。選擇什么樣的教學(xué)方法也是要重點思考的，以最大程度地提高學(xué)生的專業(yè)知識和專業(yè)英語讀、說、寫能力。

二、《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)實踐

本文第一作者于2013年夏季小學(xué)期開設(shè)《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語課，授課對象為電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)三年級本科生。此時三年級本科生已經(jīng)學(xué)過了《半導(dǎo)體工藝》，掌握了《半導(dǎo)體制造技術(shù)》的基本概念、工藝原理及流程。在此基礎(chǔ)上開設(shè)《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)既能鞏固相關(guān)的專業(yè)知識，也能掌握專業(yè)英語的聽、說、閱讀能力。

1.教材。綜合考慮各種因素，本課程選擇的教材是英文版的《硅超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)：理論、實踐與模型》，作者James D.Plummer等，由電子工業(yè)出版社出版。該教材內(nèi)容由淺入深，寫作簡單明了易于理解，適于大專院校電子專業(yè)高年級學(xué)生使用?？紤]到學(xué)生的英語水平及授課時間的限制，雙語教學(xué)僅選擇該教材的第二章《CMOS工藝集成――CMOS反相器制造工藝流程》。輔助教材為中文版的《芯片制造――半導(dǎo)體工藝制程實用教程》（第五版），作者Peter Van Zant，韓鄭生等譯，由電子工業(yè)出版社出版。

2.教學(xué)方法。考慮到學(xué)生的實際情況，本雙語課程采用英文教材，英文版書，中英文授課的模式。課前要求學(xué)生充分預(yù)習(xí)。課堂上教師對基礎(chǔ)英語中常見的重點詞匯、固定搭配、句式結(jié)構(gòu)等進(jìn)行適當(dāng)講述，在此基礎(chǔ)上重點講解專業(yè)詞匯及科技文獻(xiàn)常用的表達(dá)方式。通過舉例歸納總結(jié)詞匯的專業(yè)性及日常應(yīng)用中的差異及科技文獻(xiàn)與通俗小說等寫作手法的不同。讓學(xué)生們參與教學(xué)，由學(xué)生先用英文通讀一段再用中文來講解，再由老師進(jìn)行講解總結(jié)。同時每次課都會利用一定的時間給學(xué)生播放Intel和斯坦福等多家機(jī)構(gòu)聯(lián)合出品的《Silicon Run》，該套視頻是微電子行業(yè)的經(jīng)典紀(jì)錄片，其詳細(xì)講述了硅集成電路（IC）工藝制程中的各單項工藝，如晶圓的制備、氧化、光刻、淀積、離子注入、刻蝕、金屬化、封裝等等。讓學(xué)生們生動形象地了解實際生產(chǎn)線上各工藝的同時，也能練習(xí)聽力，課后還能跟讀，一舉三得。待到學(xué)生聽、說、讀英語的能力提高了，教學(xué)模式最終會過渡到英文教材，英文版書，英語授課。

3.教學(xué)反饋。課程結(jié)束前對教學(xué)效果進(jìn)行的調(diào)查問卷顯示[3]，80%的學(xué)生認(rèn)為本課程教學(xué)有助于提高自己的專業(yè)英語水平，對閱讀專業(yè)英文論文及著作起到了拋磚引玉的作用。學(xué)生們認(rèn)為教學(xué)中的視頻在提高聽力的同時，讓他們更真切地了解了實際生產(chǎn)線上器件、集成電路的制造過程。

三、對開展《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)的幾點建議

通過幾年的《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)實踐，針對當(dāng)前的不足進(jìn)行了有益的探索，對開展雙語教學(xué)有幾點建議僅供探討。

1.在授課中意識到很多學(xué)生對英語心理上存在恐懼感，限制了他們學(xué)習(xí)的積極性，同時許多學(xué)生誤認(rèn)為專業(yè)英語的學(xué)習(xí)是重點，而忽略了專業(yè)英語只是教學(xué)工具，利用這個工具或媒介掌握專業(yè)知識才是根本。只有克服對英語的恐懼感，對雙語教學(xué)有正確認(rèn)識才能達(dá)到預(yù)期效果。

2.針對雙語教學(xué)師資缺乏的情況，學(xué)校應(yīng)依據(jù)“引進(jìn)來，送出去”的原t，在大力加強(qiáng)外國專家學(xué)者、海歸博士引進(jìn)工作的同時，可在校內(nèi)組織專門的培訓(xùn)，或者通過送到外校學(xué)習(xí)的形式提升教師講授雙語課的綜合能力。如果有條件聘請國外相關(guān)領(lǐng)域的知名專家學(xué)者、海歸博士與本校教師組成雙語課教學(xué)團(tuán)隊不失為非常好的解決辦法。

3.雙語教學(xué)應(yīng)循序漸進(jìn)，不能操之過急。雙語教學(xué)不能一蹴而就，防止一味硬灌和被動接受。應(yīng)循序漸進(jìn)，因地制宜，因材施教。教師與學(xué)生應(yīng)相互配合，相互信任，充分發(fā)揮各自的積極性和主動性，從雙語的教與學(xué)中獲得知識，收獲快樂。

四、結(jié)束語

雙語教學(xué)是培養(yǎng)復(fù)合型人才必不可少的手段。雖然國內(nèi)的雙語教學(xué)開展了十多年也取得了長足的進(jìn)步，但仍有諸多問題需要探討。本文介紹了《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)的教學(xué)實踐并提出了相關(guān)的建議，以便完善今后的雙語教學(xué)實踐。

參考文獻(xiàn)：

[1]徐曉娟，屈健，梁亞秋.材料科學(xué)基礎(chǔ)課程雙語教學(xué)的調(diào)查與分析[J].硅谷，2010，（1）.

[2]黃海艷.大學(xué)雙語教學(xué)的目標(biāo)研究[J].鄭州航空工業(yè)管理學(xué)院學(xué)報（社會科學(xué)版），2006，25（5）.

[3]桑應(yīng)朋，李悒東，鄔俊.操作系統(tǒng)課程雙語教學(xué)時間與探討[J].教育教學(xué)論壇，2016，（19）.

Discussion on Bilingual Teaching in Semiconductor Fabrication Technology-CMOS Process Integration

LV Pina，QIU Weia，YUE Cheng-junb

（a. Physics School，Liaoning University；

b. College of Information，Liaoning University，Shenyang 110036，China）